無(wú)轉(zhuǎn)速傳感器的磁懸浮分子泵陀螺效應(yīng)抑制
光學(xué)精密工程
頁(yè)數(shù): 11 2024-11-10
摘要: 磁懸浮分子泵在轉(zhuǎn)速傳感器故障或缺失時(shí),常因陀螺效應(yīng)無(wú)法有效抑制而失穩(wěn)。針對(duì)該問(wèn)題,提出了一種無(wú)轉(zhuǎn)速傳感器條件下的陀螺效應(yīng)抑制方法。根據(jù)轉(zhuǎn)子動(dòng)力學(xué)建立分子泵轉(zhuǎn)動(dòng)方向的復(fù)系數(shù)模型,利用帶非線性頻率估計(jì)的可變相移角雙輸入自適應(yīng)陷波器得到估計(jì)轉(zhuǎn)速,并提供給控制系統(tǒng)。然后,在傳統(tǒng)比例微分積分控制的基礎(chǔ)上加入濾波交叉反饋環(huán)節(jié)抑制陀螺效應(yīng),通過(guò)雙頻伯德圖分析系統(tǒng)的穩(wěn)定性,并結(jié)合奈奎斯特圖設(shè)計(jì)... (共11頁(yè))