硬質(zhì)TiAlCN多層膜的微觀結(jié)構(gòu)設(shè)計與摩擦磨損性能研究

摘要： 目的 利用陰極電弧離子鍍技術(shù)在不銹鋼基體上分別制備了以TiN為打底層的TiAlCN單層涂層、TiAlN-TiAlCN雙層涂層及TiAlN-TiAlCN多層涂層，研究并得出多層結(jié)構(gòu)能提高TiAlCN涂層力學性能和耐磨性能。方法 采用掃描電鏡（SEM）、X射線衍射儀（XRD）、拉曼光譜儀表征TiAlCN涂層的微觀形貌和物相組成；進一步，通過納米壓痕儀、維氏硬度計評估TiAlCN涂層... （共10頁）