GaN器件金剛石近結(jié)集成熱管理技術(shù)研究進展

摘要： GaN器件大功率及高功率密度的發(fā)展受限于其自生熱和近結(jié)區(qū)散熱能力引起的器件結(jié)溫升高問題，導致器件性能嚴重下降，GaN器件的大功率潛能遠未得到發(fā)揮，金剛石近結(jié)集成熱管理技術(shù)是解決GaN器件熱瓶頸的重要途徑。本文詳細論述GaN器件近結(jié)熱管理技術(shù)的重要性，并對近年來國際上正在開展的金剛石近結(jié)散熱技術(shù)方法進行系統(tǒng)分析和評述，揭示了金剛石與GaN器件近結(jié)集成工藝途徑及面臨的技術(shù)挑戰(zhàn)，闡述... （共7頁）