面向MEMS加速度傳感器的aF級(jí)電容檢測(cè)電路設(shè)計(jì)

摘要： 針對(duì)MEMS電容式加速度計(jì)輸出信號(hào)弱(fF量級(jí))、易受干擾等問題,設(shè)計(jì)了一種基于差分載波調(diào)制解調(diào)方法的高精度電容檢測(cè)電路,檢測(cè)下限可達(dá)aF量級(jí)。該方法采用高頻載波調(diào)制解調(diào),可有效抑制1/f噪聲;采用敏感電容差動(dòng)檢測(cè)方式,可抑制共模噪聲干擾。采用fF級(jí)動(dòng)態(tài)電容輸出的商用加速度計(jì)表頭搭建測(cè)試系統(tǒng),測(cè)試結(jié)果表明:所設(shè)計(jì)電路的電容檢測(cè)下限可達(dá)35 aF,等效電容分辨率為■,本底噪聲水平... （共6頁）