基于氧化釩薄膜的雙層紅外焦平面陣列的設(shè)計(jì)與仿真

摘要： 隨著紅外探測器對高靈敏度、快速響應(yīng)、低成本等性能要求日益增加，新型非制冷型微測輻射熱計(jì)引起了人們極大關(guān)注與興趣。設(shè)計(jì)了雙層傘狀鏤空吸收層的微測輻射熱計(jì)單元結(jié)構(gòu)，對不同結(jié)構(gòu)的性能進(jìn)行了仿真分析。研究了吸收層厚度和面積對紅外吸收率、熱時(shí)間常數(shù)以及電壓響應(yīng)率的影響。結(jié)果表明，70 nm厚度的雙層傘狀結(jié)構(gòu)吸收層紅外吸收率達(dá)82.5%以上。優(yōu)化后的設(shè)計(jì)模型，吸收層面積106.4μm~2、... （共8頁）