基于數(shù)字聲音重建的靜電MEMS揚聲器設計

摘要： 針對目前基于數(shù)字聲音重建技術的揚聲器再現(xiàn)聲音動態(tài)范圍窄、失真嚴重的問題，設計了一種響應速度快、聲學輸出可線性相加的靜電MEMS揚聲器。該揚聲器采用了包括雙背板、懸臂梁和緩沖錐的復合式振膜結構，顯著降低了揚聲器的振膜剛度和提高了振動自由度，從而優(yōu)化了揚聲器的工作效率并減少了響應時間。利用Comsol Multiphysics軟件對揚聲器進行幾何結構參數(shù)優(yōu)化和性能仿真，確定當揚聲器... （共9頁）