粗微疊層式硅片臺數(shù)據(jù)驅(qū)動MIMO前饋控制

摘要： 光刻機中承載晶圓進行圖像曝光的硅片臺是一個典型的多輸入多輸出(multi-input multi-output,MIMO)超精密運動系統(tǒng)，MIMO前饋控制技術(shù)是抑制各自由度耦合誤差的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。針對光刻機粗微疊層式結(jié)構(gòu)的硅片臺，文中基于主從控制架構(gòu)，提出一種微動臺和粗動臺MIMO前饋控制方法。該前饋采用線性參數(shù)化結(jié)構(gòu)，以微分單元為基函數(shù)，將控制器的參數(shù)整定問題轉(zhuǎn)化為一個凸優(yōu)化問題... （共11頁）