復合襯底薄膜砷化鎵太陽電池技術研究

摘要： 針對薄膜砷化鎵(GaAs)太陽電池，提出了一種復合襯底結構及其一體化制備方法。采用微加工方法使該薄膜砷化鎵太陽電池的復合式柔性襯底的厚度降低至15μm,薄膜GaAs太陽電池整體面密度低至95 g/m~2,光刻形成的金屬微孔使砷化鎵與襯底背面底電極電學導通。此外，提出的復合襯底一體化制備方法可避免傳統(tǒng)薄膜GaAs電池鍵合過程對砷化鎵外延層造成的影響，提高太陽電池工藝可靠性。薄膜G... （共7頁）