新型流磁巨量轉移用永磁偏置定位磁針

摘要： 針對現(xiàn)有Mini/Micro LED巨量轉移技術轉移效率及自組裝轉移良率普遍較低，提出一種“永磁+電磁”磁場耦合的新型流磁巨量轉移用定位磁針。為實現(xiàn)磁針上表面對芯片的精準抓取，設計了電磁偏置線圈，精準控制磁針上表面的磁力，利用磁路分析法建立磁針結構與磁針針尖的數(shù)學模型，獲取影響磁針上表面氣隙磁密的結構參數(shù)，借助有限元法對結構參數(shù)進行優(yōu)化設計。優(yōu)化后磁針上表面的Bmax由最初的5... （共10頁）