膜片式液壓微位移執(zhí)行器設計與特性分析

摘要： 微位移執(zhí)行器是實現(xiàn)高精度控制的關鍵裝置，廣泛應用于精密伺服系統(tǒng)、芯片生產(chǎn)以及超精密加工領域。針對傳統(tǒng)微位移執(zhí)行器結(jié)構復雜、輸出力小、行程短等問題，提出基于帕斯卡原理的膜片式液壓微位移執(zhí)行器。首先，建立了復合載荷下執(zhí)行器的力學模型，并采用逐次修正法推導了應力-應變的迭代求解式。其次，研究了執(zhí)行器關鍵參數(shù)對執(zhí)行器行程和應力的影響規(guī)律。在此基礎上，建立了以材料強度和設計行程為約束的膜... （共7頁）