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電場驅(qū)動微尺度3D打印掩膜電解加工微結(jié)構(gòu)

機(jī)械工程學(xué)報 頁數(shù): 17 2023-12-18
摘要: 針對目前掩膜微細(xì)電解加工掩膜制作工藝復(fù)雜、微結(jié)構(gòu)加工精度差等問題,提出電場驅(qū)動微尺度3D打印掩膜與陰極振動脈沖電解加工新方法。充分利用微尺度3D打印高分辨率、掩膜靈活性的優(yōu)勢,實(shí)現(xiàn)聚乳酸(PLA)材料微米級掩膜的精確打印,結(jié)合陰極振動進(jìn)給與脈沖電壓同步控制的電解加工工藝,取得了較好的加工效果。研究微尺度3D打印掩膜工藝規(guī)律,建立了陰極振動與脈沖同步電解加工模型,仿真分析間隙動態(tài)... (共17頁)

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