曲面硅電極五軸精密磨削工藝研究
機(jī)床與液壓
頁數(shù): 5 2023-12-06
摘要: 近兩年出現(xiàn)了新型刻蝕技術(shù),將半導(dǎo)體刻蝕用硅電極設(shè)計(jì)成曲面結(jié)構(gòu)。而曲面硅電極的精度及粗糙度要求非常高,其生產(chǎn)都是在國外進(jìn)行,具體工藝未知。研究出一套曲面硅電極高效、精密磨削方法。通過分析曲面硅電極零件,提出采用五軸磨削技術(shù)進(jìn)行加工的工藝方案,使用五軸編程軟件進(jìn)行編程,采用具備機(jī)內(nèi)自動(dòng)化技術(shù)和數(shù)字仿真技術(shù)的五軸磨削中心,對曲面硅電極的磨削加工策略進(jìn)行驗(yàn)證。結(jié)果表明:此項(xiàng)加工技術(shù)可提... (共5頁)