基于VLPE技術(shù)的碲鎘汞p-on-n雙層異質(zhì)結(jié)材料與器件研究進(jìn)展

摘要： 本文對比分析了碲鎘汞p-on-n器件四種制備方式的優(yōu)劣，其中，VLPE(Vertical Liquid Phase Epitaxy)技術(shù)具有原位As摻雜與高激活率的技術(shù)優(yōu)勢，是制備高性能p-on-n雙層異質(zhì)結(jié)器件的重要方式。針對該技術(shù)，從材料生長、器件工藝和器件性能方面回顧了國內(nèi)外研究進(jìn)展，討論了國內(nèi)外差距，明確了制約該技術(shù)發(fā)展的關(guān)鍵問題和技術(shù)難點，并提出了解決思路。最后，展望... （共13頁）