機(jī)器人拋光M-ZnS去除函數(shù)建模與工藝參數(shù)優(yōu)化

摘要： 為研究M-ZnS在機(jī)器人拋光過程中的材料去除模型和優(yōu)化參數(shù)組合，探究M-ZnS光學(xué)元件的高精度、低成本、批量化制造方案，采用有限元法和數(shù)值仿真法，對M-ZnS的機(jī)器人拋光材料去除函數(shù)模型進(jìn)行修正?；谟邢拊ń⒘藪伖獗P的壓力分布模型，采用曲線擬合方法得到了壓力分布函數(shù)。仿真模型和實驗數(shù)據(jù)對比表明，去除函數(shù)模型與實驗數(shù)據(jù)中心相對偏差小于8%，證實了修正去除函數(shù)模型的有效性。然后... （共14頁）