直拉法單晶硅生長原理、工藝及展望

摘要： 碳達(dá)峰、碳中和理念提出后，太陽能作為一種可再生綠色能源備受關(guān)注。單晶硅作為主要的光伏材料，其質(zhì)量決定著太陽能電池效率的高低，為了降低成本和提高產(chǎn)能，人們對單晶硅提出越來越高的要求。直拉法(CZ法)是單晶硅的主要制備方法，其生產(chǎn)效率高，可實現(xiàn)自動化，直拉單晶硅市場占比超過90%,目前正朝著大尺寸、N型、薄片化、低氧低碳的方向發(fā)展。然而隨著晶棒尺寸增大，熱場變化更加復(fù)雜，現(xiàn)有CZ工... （共13頁）