Au修飾SnO2薄膜兼容型高響應(yīng)乙炔氣體傳感器研制
西安交通大學(xué)學(xué)報
頁數(shù): 10 2024-05-20
摘要: 為了實現(xiàn)變壓器油中溶解的乙炔氣體檢測,研發(fā)了一款基于Au修飾SnO
2氣敏薄膜的乙炔氣體傳感器。通過射頻濺射制備SnO
2薄膜,進而通過直流濺射制備Au并改變?yōu)R射時間,得到不同Au修飾量的氣敏薄膜,采用微機電系統(tǒng)(MEMS)工藝開發(fā)了基于氣敏薄膜的乙炔氣體傳感芯片。對比純SnO
2以及不同Au修飾量的SnO
2氣敏薄膜的氣敏性能,結(jié)果顯示,基于20 s-Au修飾的SnO
2薄膜... (共10頁)