PVT法AlN晶體生長模式調控研究

摘要： 物理氣相傳輸(PVT)法制備AlN晶體時，亞晶的產(chǎn)生會降低晶體質量，甚至多晶化。本文通過調節(jié)熱/動力學生長條件，研究AlN晶體中亞晶產(chǎn)生及變化規(guī)律，提出抑制方法調控生長模式。實驗結果表明，大的溫度波動導致晶體表面氣相物質過飽和度波動變大，增加高指數(shù)晶面的形成概率，這些晶面因非一致性難以實現(xiàn)完美聚并。本文還研究了穩(wěn)定溫場條件下，氣相物質輸運對生長模式的影響。實驗及模擬結果顯示，傳... （共8頁）