基于PECVD技術的石墨烯可控制備與應用:現(xiàn)狀與展望

摘要： 石墨烯因其優(yōu)異的物理/化學特性,在眾多領域有著廣泛的應用前景.為了推動石墨烯材料的實際應用,需要尋找穩(wěn)定可靠、可擴展和低成本的石墨烯材料制備方法.等離子體增強化學氣相沉積(plasma-enhanced chemical vapor deposition, PECVD)技術是一種借助外加能量輔助反應前驅體裂解產生等離子體,進而實現(xiàn)石墨烯制備的方法. PECVD技術在沿襲了傳統(tǒng)化... （共13頁）