雙通道放氣率測(cè)量裝置器壁放氣動(dòng)態(tài)特性分析與碳化硼放氣率測(cè)試

摘要： 雙通道法是一種高精度、低檢測(cè)下限的材料放氣率測(cè)量方法，適用于碳化硼等低放氣率材料。該方法需要先測(cè)定測(cè)量系統(tǒng)的本底放氣量，即在系統(tǒng)壓力穩(wěn)定后，選取某一時(shí)刻的壓力值計(jì)算后作為本底放氣量。針對(duì)裝置本底放氣量測(cè)量，文章基于吸附擴(kuò)散理論，建立了雙通道測(cè)量系統(tǒng)的吸附-擴(kuò)散-解離模型，并進(jìn)行了數(shù)值計(jì)算分析，研究了系統(tǒng)本底壓力隨溫度的變化規(guī)律，計(jì)算結(jié)果與實(shí)驗(yàn)結(jié)果吻合良好。同時(shí)，文章對(duì)含B4C樣... （共6頁(yè)）