基于碳納米管電子源的高穩(wěn)定電離真空計(jì)的性能研究（英文）
真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào)
頁(yè)數(shù)： 6 2024-04-07
摘要： 文章將碳納米管電子源應(yīng)用于高穩(wěn)定電離真空計(jì)，通過(guò)結(jié)構(gòu)和電參數(shù)優(yōu)化，研制了樣機(jī)，并開(kāi)展了樣機(jī)計(jì)量特性的實(shí)驗(yàn)研究，研究結(jié)果表明，新型電離規(guī)在6.87×10
-6 Pa～6.45×10
-5 Pa的壓力范圍內(nèi)，靈敏度在0.200 Pa
-1～0.245 Pa
-1的范圍內(nèi)波動(dòng)，與仿真靈敏度0.250 Pa
-1的偏差最大為20%，靈敏度波動(dòng)小于5.96%，證明該結(jié)... （共6頁(yè)）
APP 