玻璃破碎新鮮表面吸氣特性及其誘導(dǎo)下快速抽氣新方法研究

摘要： 高真空獲得及維持技術(shù)對(duì)微納材料制備、微電子設(shè)備制造、真空電子器件工藝優(yōu)化等領(lǐng)域的科學(xué)研究及工業(yè)應(yīng)用至關(guān)重要。文章面向高真空獲得及維持過程中吸氣材料吸氣機(jī)理解析及尋優(yōu)材料替代之關(guān)鍵科學(xué)問題，致力于克服傳統(tǒng)高真空技術(shù)維持高真空狀態(tài)能耗高、傳統(tǒng)高真空獲得方法依賴于昂貴設(shè)備和復(fù)雜操作等缺陷，提出了一種基于玻璃破碎新鮮表面誘發(fā)高真空獲得及壓力下限突破的新方法；文章首先開展了吸氣成分及分壓... （共8頁）