2 m平面鏡檢測(cè)光路偏心調(diào)整誤差影響分析

摘要： 大口徑平面鏡面形高精度檢測(cè)是一個(gè)精密裝調(diào)的過(guò)程，面形恢復(fù)精度易受檢測(cè)過(guò)程中人為主觀因素的干擾。為解決大口徑平面鏡高精度面形檢測(cè)問(wèn)題，對(duì)光路檢測(cè)偏心誤差以及由偏心誤差引起的瑞奇角計(jì)算精度改變、干涉儀中心到平面鏡距離等聯(lián)動(dòng)誤差進(jìn)行分析。通過(guò)使用光學(xué)軟件搭建2 m平面鏡檢測(cè)模型，設(shè)定不同的偏心誤差獲得系統(tǒng)波像差，解算系統(tǒng)波像差數(shù)據(jù)獲得待測(cè)平面鏡面形數(shù)據(jù)，與預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)面形進(jìn)行對(duì)比。分析發(fā)... （共9頁(yè)）