LCD面板C/FOG工藝制造虛擬計量方法研究

摘要： 針對液晶顯示器(LCD)面板的“Chip/FPC on Glass”(C/FOG)工藝生產制造過程中存在的計量延遲大、生產異常無法提前預測的問題，本文提出一種基于神經網絡的C/FOG工藝生產制造虛擬計量方法。該方法利用生產機臺上的傳感器采集生產過程中的過程狀態(tài)數據，構建基于多尺度一維卷積及通道注意力模型(MS1DC-CA)的虛擬計量模型。通過多個尺度的卷積核提取不同尺度范圍內的... （共10頁）