星載邁克爾遜干涉儀掃描角鏡裝調(diào)工藝研究

摘要： 針對星載邁克爾遜干涉儀懸臂式掃描角鏡組件裝調(diào)維度多、裝調(diào)精度高、檢測困難等技術(shù)難點，提出了一種“向量解析+精密微動調(diào)整”方法，通過建立裝調(diào)及檢測基準(zhǔn)、將角鏡組件簡化為空間點向量、采用“先法向后平面”的調(diào)整順序、利用專用精密微動裝置等措施，實現(xiàn)了空間多自由度角鏡組件的高精度調(diào)整，角鏡頂點位置對稱度裝調(diào)后達到8μm，優(yōu)于0.01 mm的設(shè)計指標(biāo)要求，有效提高了裝調(diào)精度，縮短了裝調(diào)周... （共5頁）