高精度NiCr/NiSi薄膜熱電偶高溫測試系統(tǒng)

摘要： 針對航空發(fā)動機渦輪葉片和燃燒室內(nèi)壁等高溫惡劣環(huán)境下對溫度測量的迫切需求，提出了一種基于薄膜熱電偶的高精度測溫方法。采用磁控濺射法在SiC襯底上制備了NiCr/NiSi薄膜熱電偶。完成了薄膜熱電偶的設(shè)計與制備，并設(shè)計了一套高精度溫度數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，主控芯片采用STM32,數(shù)據(jù)采集芯片采用16位高精度芯片ADS1118,實現(xiàn)了對高溫惡劣環(huán)境下溫度數(shù)據(jù)的實時采集。結(jié)果表明：設(shè)計制備的N... （共6頁）