MOEMS光邏輯開(kāi)關(guān)狀態(tài)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

摘要： 為提高M(jìn)OEMS光邏輯開(kāi)關(guān)的響應(yīng)速度、減少長(zhǎng)時(shí)間熱積累對(duì)激光點(diǎn)火系統(tǒng)的影響，提出在電熱式MOEMS光開(kāi)關(guān)中加入狀態(tài)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。該監(jiān)測(cè)系統(tǒng)包括狀態(tài)監(jiān)測(cè)單元、驅(qū)動(dòng)電路、控制電路、狀態(tài)監(jiān)測(cè)電路等，通過(guò)在微電熱驅(qū)動(dòng)器的運(yùn)動(dòng)路徑上設(shè)置狀態(tài)監(jiān)測(cè)單元，當(dāng)微電熱驅(qū)動(dòng)器運(yùn)動(dòng)到與狀態(tài)監(jiān)測(cè)單元接觸時(shí)，狀態(tài)監(jiān)測(cè)電路識(shí)別到接觸信號(hào)并輸出觸發(fā)信號(hào)，從而實(shí)現(xiàn)光邏輯開(kāi)關(guān)的快速切換。針對(duì)一種電熱式MOMES光邏輯... （共7頁(yè)）