MEMS熱式風(fēng)速風(fēng)向傳感器輸出性能優(yōu)化研究
微電子學(xué)
頁(yè)數(shù)： 6 2023-12-20
摘要： 環(huán)境測(cè)溫二極管在工作時(shí)受傳感器芯片熱場(chǎng)影響，常引發(fā)MEMS熱式風(fēng)速風(fēng)向傳感器加熱電壓-風(fēng)速曲線異常。將其更換為外置測(cè)溫二極管，并調(diào)整其與傳感器芯片距離，成功解決了輸出曲線異常現(xiàn)象。并在此基礎(chǔ)上，優(yōu)化芯片及外置測(cè)溫二極管的封裝方案，消除了熱場(chǎng)的相互干擾和不必要的熱損耗，同時(shí)保證了外置測(cè)溫二極管與空氣的良好接觸。風(fēng)場(chǎng)測(cè)試結(jié)果表明，傳感器的加熱電壓-風(fēng)速曲線變得平滑，且重復(fù)性好，風(fēng)速... （共6頁(yè)）
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