勻光陣列微結(jié)構(gòu)模具高性能非接觸仿形拋光

摘要： 勻光元件具有優(yōu)良的光束擴(kuò)散性能，被廣泛應(yīng)用于投影、照明及成像系統(tǒng)，拋光可有效去除勻光模具表面刀紋從而提升性能，但現(xiàn)有的拋光方法通常難以在保持微結(jié)構(gòu)面形精度的同時(shí)提升表面質(zhì)量。為解決上述問(wèn)題，提出了一種用于陣列微結(jié)構(gòu)模具的高性能非接觸仿形拋光方法，研究了加工間隙和工具轉(zhuǎn)速對(duì)材料去除的影響，分析了模具表面質(zhì)量及面形變化。最后，通過(guò)打光測(cè)試表征了不同加工方法與元件性能的關(guān)系。結(jié)果表明... （共10頁(yè)）