二維高帶寬低耦合納米定位平臺設計與實驗

摘要： 納米尺度研究的發(fā)展對原子力顯微鏡的核心運動部件——納米定位平臺的定位精度與掃描速度提出了更高要求。針對平臺運動耦合與諧振頻率兩項關鍵性能展開研究，設計了一種新型基于壓電陶瓷驅動的二維高帶寬低耦合納米定位平臺。結構設計上，首先提出高剛度并聯(lián)解耦結構，然后基于內外側柔性鉸鏈剛度解耦假設，確立了高剛度低耦合設計方案。為進一步提升平臺諧振頻率，建立尺寸參數優(yōu)化模型，以平臺一階諧振頻率為... （共7頁）