AFM-TM微懸臂梁系統(tǒng)混沌運(yùn)動(dòng)及控制算法分析

摘要： 針對(duì)輕敲式原子力顯微鏡微(AFM-TM)懸臂梁系統(tǒng)的混沌運(yùn)動(dòng)會(huì)嚴(yán)重影響到AFM-TM的測(cè)量精度的問題，對(duì)該系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)特性及控制算法進(jìn)行了分析。首先，通過數(shù)值仿真，綜合利用Lyapunov指數(shù)、分岔圖、Poincaré截面和相位圖分析了外部激勵(lì)幅值變化時(shí)AFM-TM微懸臂梁系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)特性的演化；然后，提出將延時(shí)反饋控制和模糊自適應(yīng)延時(shí)反饋，用于控制系統(tǒng)的混沌運(yùn)動(dòng)；最后，對(duì)兩種控制算... （共8頁）