觸針式表面形貌測量儀探針幾何特性引起的失真機理與識別方法

摘要： 觸針式表面形貌測量儀廣泛應用于表面粗糙度、幾何形狀和波紋度等參數的測量，但探針與被測表面交互時所產生的卷積效應會導致測量結果的失真。通過分析探針幾何特性引起的失真機理，將失真按其特性分為典型失真和復雜失真。針對探針球形針尖和錐角復合效應引起的失真現象，提出了一種復雜失真的多模態(tài)識別方法。實驗結果表明：相較于形貌測量儀單模態(tài)識別典型失真的限制，該方法可以有效識別形貌測量結果中的復... （共7頁）