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一種新的大行程垂直納米運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)設(shè)計(jì)與控制研究

計(jì)量學(xué)報(bào) 頁數(shù): 7 2024-03-27
摘要: 在大行程高精度垂直運(yùn)動(dòng)中,工作臺(tái)的設(shè)計(jì)及穩(wěn)定控制是關(guān)鍵因素。因此設(shè)計(jì)一種新型的具有平衡機(jī)構(gòu)的工作臺(tái),以實(shí)現(xiàn)垂直方向上大行程納米穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)。所研究工作臺(tái)采用N331壓電直線電機(jī)獨(dú)立驅(qū)動(dòng),通過空氣靜態(tài)導(dǎo)軌懸浮,設(shè)計(jì)Z軸平衡系統(tǒng)降低垂直向電機(jī)驅(qū)動(dòng)負(fù)載。利用步進(jìn)控制方式完成大行程驅(qū)動(dòng),模擬方式實(shí)現(xiàn)微位移精密驅(qū)動(dòng)控制。所提出的驅(qū)動(dòng)與控制策略,可實(shí)現(xiàn)100 mm垂直方向上高精度快速精密驅(qū)動(dòng)。... (共7頁)

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