大量程高線性光譜共焦位移測量系統(tǒng)

摘要： 兼具高精度、高穩(wěn)定性并能實現(xiàn)非接觸測量的光譜共焦位移測量系統(tǒng)在工業(yè)、醫(yī)療、科研等許多領域得到了廣泛應用。目前制約光譜共焦位移測量系統(tǒng)應用發(fā)展的因素是大量程和高線性度。討論了光譜共焦位移測量系統(tǒng)中色散物鏡實現(xiàn)線性軸向色散的條件，設計了一種高線性色散和大色散范圍的色散物鏡，指定了適合的公差范圍，加工裝配了一組色散物鏡，搭建了光譜共焦位移測量系統(tǒng)，采用雙頻激光干涉儀進行了位移標定，并... （共6頁）