大口徑主鏡反射膜生長(zhǎng)熱應(yīng)力及重力仿真
激光技術(shù)
頁(yè)數(shù): 6 2023-07-25
摘要: 為了充分了解大口徑主鏡鍍膜時(shí)熱應(yīng)力及自身重力的分布規(guī)律,達(dá)到控制反射鏡面形變化、提高成膜質(zhì)量的目的,采用有限元分析方法,對(duì)大口徑主鏡反射膜的生長(zhǎng)熱應(yīng)力及重力對(duì)反射鏡面形的影響進(jìn)行了理論分析和研究。結(jié)果表明,大口徑主鏡反射膜更容易在靠近邊緣位置處出現(xiàn)剝落和損壞情況;大口徑主鏡鍍膜過(guò)程中,自身重力引起的反射鏡面形變化對(duì)鍍膜質(zhì)量會(huì)產(chǎn)生較大影響,需要進(jìn)行重力消除處理;3000 mm口徑... (共6頁(yè))