傾斜入射下超透鏡亞波長聚焦特性研究

摘要： 亞波長聚焦透鏡被廣泛應用于光學顯微、成像和光刻等光學領域，具有亞波長結構的聚焦光場在傾斜入射下存在著嚴重影響光學成像質量的軸外像差。文章展示了一種高數值孔徑(0.970)的光學超透鏡設計方法，利用具有寬角度響應超原子的光場調控功能，結合孔徑對傾斜入射光場的矯正，可同時滿足傾斜入射時亞波長緊聚焦和寬帶操作。數值仿真結果表明，在帶有5μm孔徑的超透鏡中，可在傾斜入射角±30°范圍內... （共6頁）