非同軸并行彩色共聚焦測量系統(tǒng)表面傾斜角度誤差分析及校正

摘要： 針對非同軸式并行彩色共聚焦測量系統(tǒng)在被測物表面傾斜時存在的測量誤差，提出了一種誤差補償方法。該方法使用兩塊標(biāo)準(zhǔn)量塊搭建的臺階作為被測物進行實驗，首先使樣品橫向運動，對采集的表面高度數(shù)據(jù)進行直線擬合獲得傾斜表面的線性公式，再利用獲得傾斜表面直線的斜率與傾斜角度之間的關(guān)系，得到表面傾斜角度，并通過三角函數(shù)關(guān)系計算出每個數(shù)據(jù)點的誤差，最終通過補償?shù)姆绞较虮砻鎯A斜產(chǎn)生的數(shù)據(jù)誤差。為... （共12頁）