長(zhǎng)波紅外差分干涉儀光柵低溫安裝結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與優(yōu)化

摘要： 長(zhǎng)波紅外差分干涉儀在低溫工況下會(huì)因光學(xué)元件受到非均勻應(yīng)力作用產(chǎn)生干涉條紋的畸變，從而降低干涉儀系統(tǒng)性能。本文為解決低溫工況干涉條紋彎曲畸變問(wèn)題，基于長(zhǎng)波紅外差分干涉儀光機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行了干涉條紋畸變影響因素分析，結(jié)合光-機(jī)-熱耦合分析方法，對(duì)干涉儀系統(tǒng)低溫工作狀態(tài)進(jìn)行仿真。隨后設(shè)計(jì)了針對(duì)影響條紋畸變的關(guān)鍵元件——光柵元件的低溫微應(yīng)力動(dòng)態(tài)穩(wěn)定支撐安裝結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)優(yōu)化后的光柵表面面形均方根... （共13頁(yè)）