高帶寬壓電片變形鏡的動力學(xué)仿真與優(yōu)化方法研究

摘要： 為進(jìn)一步提高壓電波前校正器的響應(yīng)速度和輕量化程度，對面向高動態(tài)形狀控制的壓電片變形鏡的動力學(xué)仿真與優(yōu)化方法進(jìn)行了研究。首先，基于壓電片變形鏡的參數(shù)化有限元模型，提出了高效、高精度的電-力耦合動力學(xué)仿真分析方法。然后，通過正交遍歷多維設(shè)計(jì)參數(shù)（光學(xué)反射鏡與壓電陶瓷的材料類型、幾何尺寸和固定方式等），探究了不同參數(shù)對壓電片變形鏡動態(tài)形狀控制性能的影響規(guī)律。最后，優(yōu)化得到具有預(yù)期響應(yīng)... （共7頁）