當(dāng)前位置:首頁 > 科技文檔 > 工業(yè)經(jīng)濟 > 正文

現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系中科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新的深度融合:全球新一代光刻系統(tǒng)的啟示

中國科學(xué)院院刊 頁數(shù): 12 2024-07-20
摘要: 以科技創(chuàng)新引領(lǐng)現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)是把握新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革機遇的戰(zhàn)略選擇,也是面向高水平科技自立自強贏得戰(zhàn)略主動的必然之舉??萍紕?chuàng)新是產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新的內(nèi)生動力,產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新是科技創(chuàng)新的價值實現(xiàn),構(gòu)建和完善現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系關(guān)鍵在于實現(xiàn)科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新的深度融合。文章以全球極紫外(EUV)光刻系統(tǒng)為例,基于創(chuàng)新鏈視角,從“應(yīng)用基礎(chǔ)研究—應(yīng)用研究—中試放大—大規(guī)模量產(chǎn)”4個階段對EUV光刻... (共12頁)

開通會員,享受整站包年服務(wù)立即開通 >