能譜儀 又名：EDS,分散譜儀

　　目前最常用的是Si（Li）X射線能譜儀，其關(guān)鍵部件是Si（Li）檢測器，即鋰漂移硅固態(tài)檢測器，它實(shí)際上是一個(gè)以Li為施主雜質(zhì)的n-i-p型二極管。

　　（1）分析速度快。 能譜儀可以同時(shí)接受和檢測所有不同能量的X射線光子信號，故可在幾分鐘內(nèi)分析和確定樣品中含有的所有元素，帶鈹窗口的探測器可探測的元素范圍為11Na~92U，20世紀(jì)80年代推向市場的新型窗口材料可使能譜儀能夠分析Be以上的輕元素，探測元素的范圍為4Be~92U.

　?。?）靈敏度高。X射線收集立體角大。由于能譜儀中Si（Li）探頭可以放在離發(fā)射源很近的地方（10㎝左右），無需經(jīng)過晶體衍射，信號強(qiáng)度幾乎沒有損失，所以靈敏度高（可達(dá)104cps/nA，入射電子束單位強(qiáng)度所產(chǎn)生的X射線計(jì)數(shù)率）。此外，能譜儀可在低入射電子束流（10-11A）條件下工作，這有利于提高分析的空間分辨率。

　　（3）譜線重復(fù)性好。由于能譜儀沒有運(yùn)動(dòng)部件，穩(wěn)定性好，且沒有聚焦要求，所以譜線峰值位置的重復(fù)性好且不存在失焦問題，適合于比較粗糙表面的分析工作。